技術・製品 (Technology and Products)
【 製品名:CustomizeGEM 】
半導体/FPD製造装置にSEMI通信規格プロトコルであるE4(SECS-I),E37(HSMS)などを含め、
E30(GEM)およびGEM300規格準拠の通信機能を装備するための開発基本ソフトウェアです。
特殊な装置インタフェースやユーザー特殊仕様に柔軟に対応できます。
また、中間PCや特殊なインラインシステム開発にもカスタマイズ対応が可能です。
(注意) 本ソフトウェアはパッケージソフトではございません。
【 製品名:水位監視ユニット 】
水位の監視を行い範囲を超えたら電話等で警告を通知します。
(注意) 本ソフトウェアはパッケージソフトではございません。
【 教育・セミナー 】
SEMI規格通信に関するプライベートセミナーのご依頼や各種カスタマイズセミナー企画の
ご相談に対応いたします。
■ 基本的なSECS/GEM通信規格
E4(SECS-I), E5(SECS-II), E37(HEMS), E30(GEM)
■ 300mmウェーハFAB向けGEM300通信規格
E87(CMS),E40(PJM),E94(CJM),E90(STS)
■ その他の各種規格